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1、按照PLC程序抽低真空：緊閉所有的真空閥門，啟動機械泵，待其運行正常后（大約1-2 min），打開通向爐體的低真空閥即上碟閥，預先對爐體抽低真空；
2、按照PLC程序抽高真空：打開下碟閥，對擴散泵進行抽氣，當真空度達到15 Pa以下后，系統自動開啟擴散泵進行預熱，一般經過45 min左右擴散泵開始其作用，就可以關閉上碟閥，同時開啟主阻擋閥待真空度達到1.33×10Pa以上，才可以開啟加熱按鈕對樣品進行加熱。
珠海真空熱處理真空爐保養可指導設備操作員在職責范圍內對設備各點檢部位,用正確的檢驗方法和工具依據點檢周期進行設備的日常保養；操作員需每日依據此保養說明書認真填寫《珠海真空熱處理設備日常維護保養記錄》，并由班組長檢查復核，維修員收集存檔。全套設備按技術要求安裝完畢后，無缺件并有良好的接地時，即可按下列項目進行調試與驗收。