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不同的真空系統要求的真空度不同，高真空一側能達到系統要求的真空度，而低真空一側是直排大氣的。
因此往往必須由一套真空機組來完成，但高真空系統一般需要三級機組，中真空一般需要二級機組。一臺高真空泵和一臺低真空泵難于組成有效的高真空機組。這有幾方面的原因。高真空泵都有前級耐壓的限制，即前級高于某一壓力，泵就不能正常工作。而當前級泵達到這一臨界壓力時，往往抽速會減小，這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量，這種流量的不一致破壞了流量連續性的要求，必然會引起真空機組不能正常工作。
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高真空機組往往需要三級機組的另一個原因歸結于高真空泵的吸入壓力的限制。即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來，泵都有起始工作壓強，特別是對于周期性抽氣的真空機組，對達到工作真空度的時間是有要求的，預抽時間越長，進入工作真空度的時間也越長，這樣可以使系統盡快地進入工作壓力，保證了設備的使用效率。對于較大型的高真空應用設備，也可適當加強前級泵的預抽能力，進一步縮短抽氣時間，由于預抽時間與整個排氣過程相比很短，所以前級泵的使用時間也很短，因此可以兼作多套設備的預抽作用，而這往往是非常現實的。這就使規模化應用的真空機組得到大大的簡化。
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