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微波等離子體化學氣相沉積法 Microwave Plasma CVD (MPCVD) 是目前國際上被用于高品質金剛石膜制備的首 選方法. MPCVD 裝置將微波發生器產生的微波經波導傳輸系統進入反應器, 并通入甲烷與氫氣的混合氣體, 在微波的激發下, 在反應室內產生輝光放電, 使反應氣體的分子離化, 產生等離子體, 在基板臺上沉積得到金剛石膜. 上海伯東某客戶投資數億元采購 MPCVD 長晶設備用于人造金剛石的生產, 預計年產量超萬片.
MPCVD 需要檢漏: 在使用 MPCVD 設備進行金剛石合成的過程中, 如果設備有泄漏的情況, 將會使合成的金剛石中摻有雜質, 影響金剛石的品質, 一般漏率要求 1E-9 mbar l/s. 需要快速的對設備進行定量定位的泄露檢測, 傳統檢漏方式無法滿足.
上海伯東 客戶案例: 為了解決這一問題, 上海伯東推薦客戶采購氦質譜檢漏儀 ASM 340, 利用真空法對 MPCVD 進行檢漏, 漏率設置 1E-9 mbar l/s.
1. 將設備通過波紋軟管連接, 確認連接完畢
2. 啟動 ASM 340, 進入待機界面; 初次啟動時間大約 3min, 以后啟動 < 1min
3. 按下開始鍵, 先通過 bypass 閥門啟動 ACP 28 抽真空, 到達一定壓力檢漏儀 ASM 340 開始工作, 同時在設備懷疑有漏的地方噴氦氣 (腔體, 焊縫, 連接處); 若有漏, 馬上報警, 顯示該噴射點有漏.
4. 檢測完畢, 按下待機鍵, 放氣, 關閉電源, 移除連接管路.
氦質譜檢漏儀 ASM 340 與傳統泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體可精 確定位, 定量漏點.
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型號 |
ASM 340 W |
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對氦氣的最小檢測漏率 |
5E-13 Pa m3/s |
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檢測模式 |
真空模式和吸槍模式 |
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檢測氣體 |
4He, 3He, H2 |
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啟動時間 min |
3 |
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對氦氣的抽氣速度 l/s |
2.5 |
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進氣口最 大壓力 hPa |
25 |
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前級泵抽速 m3/h |
油泵 15 |
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重量 kg |
56 |
結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家的技術優勢, 上海伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號, 從便攜式到工作臺式滿足各種不同的應用. 替代傳統泡沫和壓差, 利用氦氣作為示蹤氣體可精 確定位, 定量漏點. 滿足單機檢漏, 也可集成在系統或 PLC.
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